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離子束刻蝕機（IBE）

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離子束刻蝕機（IBE）

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項目介紹

通過離子束直接對材料進(jìn)行轟擊刻蝕，或通過刻蝕將曝光形成的光刻膠圖形轉(zhuǎn)移至金屬、介質(zhì)、半導(dǎo)體晶圓

樣品要求

1、適用于的樣品尺寸：最大適合晶圓尺寸8英寸

2、離子源為考夫曼離子源

3、極限真空：≤9.0×10-5 Pa

4、刻蝕不均勻性: ≤±5%干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污

項目案例

離子束刻蝕機（IBE）

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安心測服務(wù)說明
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7天無理由
7天無理由免費復(fù)測
1. 復(fù)測保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對結(jié)果存疑,可申請同條件免費復(fù)測，更換條件或者參數(shù)不能參與免費復(fù)測保障服務(wù)，全程由專業(yè)團隊操作，確保結(jié)果有效性；

2. 具體細(xì)則

每單限1次復(fù)測機會，單次需小于5個樣品; 此外免費復(fù)測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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