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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）

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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）

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項目介紹

等離子體經(jīng)受激、分解、離解和離化后，這些具有高反應(yīng)活性的中性物質(zhì)被吸附到較低溫度的襯底表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

樣品要求

1、適用于的樣品尺寸：43*2英寸、10*4英寸、4*6英寸

2、反應(yīng)氣體：CF4/O2、N2、N2O、SiH4/N2、NH3

3、下電極溫度：室溫-400℃可調(diào)

4、鍍膜均勻性：<±3%

5、RF射頻源：高頻13.56MHz 功率0-300W；低頻50-460KHz 功率0-500W

6、干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污。

項目案例

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）

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每單限1次復(fù)測機(jī)會，單次需小于5個樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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