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3D光學(xué)輪廓儀測(cè)試的樣品要求以及常見問題
來源：測(cè)試GO 時(shí)間：2022-11-07 13:34:10 瀏覽：5548次

3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，可以用來表征表面形貌，微觀結(jié)構(gòu)測(cè)量。廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。

光學(xué)3D表面輪廓儀主要可以測(cè)量樣品表面的粗糙度和三維形貌、材料表面的起伏，平整度、凹坑的深度和面積；影像三坐標(biāo)可以測(cè)試樣品的空間位置、平行度、垂直度以及對(duì)角線距離等。



白光三維光學(xué)顯微鏡/3D光學(xué)輪廓儀


先進(jìn)的光學(xué)3D表面輪廓儀是確定MEMS設(shè)備表面特征的一種非常有用的工具。傳統(tǒng)意義上，光學(xué)輪廓儀被用來測(cè)量樣品的表面特性。但是，在測(cè)量過程中，所測(cè)量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下，如果樣品不穩(wěn)定或者處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)則會(huì)引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而，對(duì)于MEMS設(shè)備，需要確定該設(shè)備處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)的形貌特征，了解和確定其在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的功能和特征對(duì)研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重要，作為質(zhì)量檢驗(yàn)，只有動(dòng)態(tài)測(cè)量才可以真正模擬MEMS實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)，從而達(dá)到真正的功能檢測(cè)，所以需要先進(jìn)峰光學(xué)3D表面輪廓儀。


 

3D光學(xué)輪廓儀測(cè)試樣品要求

1. 樣品需平整；

2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以

【注：3D光學(xué)輪廓儀最大掃描區(qū)域是600*400um，每次拼接會(huì)有30%區(qū)域重疊。】

 

3D光學(xué)輪廓儀測(cè)試常見問題

Q1、白光三維光學(xué)顯微鏡/3D光學(xué)輪廓儀/接觸式輪廓儀，是一樣的嗎？

不一樣。前兩個(gè)屬于同儀器，是無接觸式的光學(xué)照射測(cè)量，而接觸式輪廓儀也叫臺(tái)階儀，屬于探針接觸式的測(cè)量，都是用于材料表面形貌測(cè)試。

Q2、 測(cè)試樣品表面粗糙度可以給出哪些參數(shù)？

Ra（輪廓算術(shù)平均偏差）；Rq（均方根粗糙度）；Rz（微觀不平度十點(diǎn)高度）；Rp（最大輪廓波峰高度）；Rv（最大谷值）。


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