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項目介紹

電子束光刻（EBL）是一種利用高能電子束在電子抗蝕劑表面進行納米級圖形直寫的加工技術(shù)，其核心原理是通過電子束與材料的相互作用實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的精確加工。

電子束由電子槍發(fā)射，經(jīng)電磁透鏡聚焦后，在真空環(huán)境中掃描至涂有電子敏感光刻膠（如PMMA、HSQ）的基片表面。電子束與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（如分子鏈斷裂或交聯(lián)），改變其在顯影液中的溶解度，最終形成所需圖形

樣品要求

1、適用于2英寸及以下尺寸的樣品，樣品高度小于2 mm，直徑小于2英寸。

2、干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污，無磁性。

項目案例

各種金以及光柵結(jié)構(gòu)加工案例圖

溝道結(jié)構(gòu)加工圖

常見問題

1、有哪些光刻技術(shù)？

光刻技術(shù)包括：光刻蝕（Photolithography）、電子束光刻（Electron Beam Lithography，EBL）、X射線光刻（X-ray Lithography）、極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography，EUV）、納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography，NIL）、掃描探針光刻（Scanning Probe Lithography，SPL）

2、為什么EBL不用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)？

EBL沒有在工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)中使用，因為它是一個緩慢且昂貴的過程，不適合大規(guī)模制造。此外，與其它光刻技術(shù)如光刻蝕相比，它具有有限的吞吐量和擴展性。

3、與光刻法的分辨率相比，EBL的分辨率有何限制？

EBL的分辨率受到電子束尺寸、鄰近效應(yīng)和背散射等因素的限制，而光刻蝕的分辨率受到光源波長和衍射效應(yīng)的限制。雖然EBL通常提供比光刻蝕更高的分辨率，但它的速度更慢且成本更高。

4、光刻工藝的一般目的？

光刻工藝的總體目標(biāo)是將掩?；蛴嬎銠C文件中的圖案以高精度和準確性轉(zhuǎn)移到涂覆在基板上的光敏材料（光阻劑）上。

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安心測服務(wù)說明

7天無理由免費復(fù)測

1. 復(fù)測保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對結(jié)果存疑,可申請同條件免費復(fù)測，更換條件或者參數(shù)不能參與免費復(fù)測保障服務(wù)，全程由專業(yè)團隊操作，確保結(jié)果有效性；

2. 具體細則

每單限1次復(fù)測機會，單次需小于5個樣品; 此外免費復(fù)測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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