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相比XRD衍射，微區(qū)XRD測試有哪些優(yōu)勢(shì)？

來源：時(shí)間：2022-11-17 15:51:52 瀏覽：6466次

XRD全稱X射線衍射(X-RayDiffraction),利用X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象來獲得衍射后X射線信號(hào)特征，經(jīng)過處理得到衍射圖譜。利用譜圖信息不僅可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)顯微鏡的確定物相，并擁有“透視眼”來看晶體內(nèi)部是否存在缺陷（位錯(cuò)）和晶格缺陷等。微區(qū)衍射（也稱為射線微區(qū)衍射、微區(qū)X射線衍射或 uXRD)分析使用非常窄的光束來進(jìn)行極小區(qū)域內(nèi)的高度局部化XRD測量。這可以使用能減少射出×射線的專用入射光束準(zhǔn)直器來實(shí)現(xiàn)。使用單毛細(xì)管可以產(chǎn)生直徑約為50 um 的入射X射線束。微區(qū)衍射技術(shù)通常用于具有不同組成、晶格應(yīng)變或優(yōu)選取向微晶的小樣品或非均質(zhì)樣品。

微區(qū)XRD可以測試指定某個(gè)區(qū)域的XRD譜圖，但是測試區(qū)域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外測試角度范圍默認(rèn)是5-90 °,其他角度需要先和老師溝通后再做決定。比如需要測試塊體樣品（尺寸要求是長寬一般1-2 cm，厚度不超過5 mm)上面某一個(gè)或一些小區(qū)域的XRD，就可以用微區(qū)XRD來測試。

微區(qū)XRD原理跟一般XRD一樣，只是beam很小是微米級(jí)，因此可以準(zhǔn)確研究不同區(qū)域內(nèi)的晶相結(jié)構(gòu)。微區(qū)XRD的x射線束斑更小些(這個(gè)通過調(diào)節(jié)狹縫可以實(shí)現(xiàn))。而一般的XRD的束斑面積在幾十個(gè)微米見方。微區(qū)衍射可以應(yīng)用于許多衍射研究，包括以下表征:樣品上具有巨大梯度成份的小斑點(diǎn)，例如，污染物、夾雜物、礦物樣品、法醫(yī)樣品、古代繪畫的微小橫截面、考古樣本、冶金工件、工具嵌件和圖案化晶片。

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