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電子探針顯微分析（EPMA）的基本原理與應(yīng)用

來源：本站時間：2020-08-24 17:48:47 瀏覽：18600次

電子探針顯微分析（EPMA）的基本原理與應(yīng)用

作者：安銘

1 引言

電子探針X射線顯微分析儀（Electron Probe X-ray Micro-Analyzer，簡寫為EPMA或者EMA）簡稱為電子探針。作為一種在電子光學和X射線光譜學原理的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的高效率分析儀器，其通過電子束作用于試樣微區(qū)上而產(chǎn)生的二次電子、背散射電子及X射線等信號，進行固體物質(zhì)顯微分析，包括微區(qū)成分、形貌和結(jié)構(gòu)分析。不同于一般用于分析樣品較大范圍內(nèi)的平均化學組成的方法（如化學分析、X光熒光分析以及光譜分析），電子探針的微區(qū)成分分析能將微區(qū)化學成分和顯微組織對應(yīng)起來，因此是一種顯微組織的分析。

2 電子探針的發(fā)展歷史

電子探針顯微分析的發(fā)展是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實質(zhì)上就是這兩種儀器的科學組合。

根據(jù)相關(guān)記載，第一臺靜止型電子探針樣機于1949年在法國制成，其由電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

1953年，前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀，英、美等國繼此之后陸續(xù)生產(chǎn)。

第一臺掃描電子探針儀商品于1960年由美國制成，不僅能對試樣作點或微區(qū)分析，而且能對樣品表面微區(qū)進行掃描。

1970年以后，電子探針和掃描電鏡逐漸組合為一體，同時應(yīng)用電子計算機控制分析過程和進行數(shù)據(jù)處理。

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